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本发明涉及探测技术领域,公开了一种VCSEL和APD集成芯片及其制备方法,集成芯片包括信号发射单元、信号接收单元、控制单元和数据处理单元,信号发射单元包括叠层的第一信号接收结构层和第一信号发射结构层,信号接收单元包括叠层的第二信号接收结构层...该专利属于度亘激光技术(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过度亘激光技术(苏州)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及探测技术领域,公开了一种VCSEL和APD集成芯片及其制备方法,集成芯片包括信号发射单元、信号接收单元、控制单元和数据处理单元,信号发射单元包括叠层的第一信号接收结构层和第一信号发射结构层,信号接收单元包括叠层的第二信号接收结构层...