下载硅棒多工位加工机的技术资料

文档序号:19699401

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本申请公开一种硅棒多工位加工机,包括:机座,具有硅棒加工平台,具有多个功能区位;硅棒转换装置,用于将硅棒在多个功能区位之间转换;中央安装架,设置于硅棒转换装置的中央部位,包括多组安装柱以及用于连接多组安装柱顶部的顶板;多个硅棒定位机构,每一...
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