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本发明公开了一种集成流量反馈装置和压力传感器的静压导轨块,包括二腔滑块体、压力传感器和薄膜流量反馈装置,所述二腔滑块体包括滑块本体,且滑块本体上设置有螺接固定孔,所述滑块本体的左侧设置有抬升腔,且滑块本体的右侧设置有保压腔。该装置能够利用压...该专利属于机械科学研究总院海西(福建)分院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过机械科学研究总院海西(福建)分院有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种集成流量反馈装置和压力传感器的静压导轨块,包括二腔滑块体、压力传感器和薄膜流量反馈装置,所述二腔滑块体包括滑块本体,且滑块本体上设置有螺接固定孔,所述滑块本体的左侧设置有抬升腔,且滑块本体的右侧设置有保压腔。该装置能够利用压...