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本发明涉及一种氧化锌薄膜晶体管的制备方法，属于一种薄膜晶体管的制备方法。包括清洁衬底，栅极沉积，绝缘层沉积，富氧氧化锌沟道层沉积，低氧氧化锌沟道层沉积，源电极和漏电极沉积。优点是通过双有源层结构、叉指源漏电极的制备，提供富氧、低氧分层制备沟...
该专利属于吉林建筑大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林建筑大学授权不得商用。

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