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一种半导体开关装置及其制造方法。所述方法包括提供具有主表面的半导体基板以及具有第一导电类型的第一半导体区域。所述方法进一步包括通过定位在所述第一半导体区域上的掩模中的开口将离子注入所述第一半导体区域中，由此形成定位在所述第一半导体区域中的阱...
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