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本实用新型公开了一种光配向设备。所述光配向设备包括：光源、转向部件、轨道以及夹持动子；其中，所述光源包括至少一个灯管；所述转向部件与所述光源连接，用于实现所述光源在第一状态和第二状态之间的翻转，其中，所述第一状态为工作状态，所述第二状态为所...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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