下载一种低振动低温测试装置的技术资料

文档序号:19650297

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本实用新型公开了一种低振动低温测试装置,包括:真空腔体,其设有开口;光学隔振平台,用于固定真空腔体,隔离外界对真空腔体的振动;G‑M制冷机,由管道连接的制冷机主机和冷头组件组成,所述冷头组件由冷头和冷头基座组成;波纹管,其端部分别密封连接所...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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