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本发明提供一种薄膜晶体管及其制作方法，该制作方法包括：在基板上依次形成栅极、栅极绝缘层、源极和漏极；在所述源极、所述漏极和所述栅极绝缘层上形成平坦层，并对所述平坦层进行图案化处理，以形成第一部分、第二部分和第三部分；所述第一部分位于所述源极...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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