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辐射装置以及使用辐射装置的处理装置制造方法及图纸
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下载辐射装置以及使用辐射装置的处理装置的技术资料
文档序号:19639277
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辐射装置具备:发热源;超材料构造层,其配置于发热源的表面侧,将从发热源输入的热能作为特定波长区域的辐射能量进行辐射;以及背面金属层,其配置于发热源的背面侧。背面金属层的平均辐射率小于超材料构造层的平均辐射率。...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。
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