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本发明公开了一种动力学驱动的超精密运动系统详细方案设计方法与系统。本发明的方法提出在任何具体设计阶段，从系统全局出发，针对系统方案和/或关键组件的设计与修改，对系统方案进行动力学建模、仿真与分析，以分析结果为依据，驱动设计进程；关键组件、子...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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