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本实用新型涉及用于由一种或多种液相先驱体生成气溶胶的装置(1)。该装置(1)包括沉积室(100)、雾化源(10)和用于液体的储液器(20)，其中该储液器(20)设置于沉积室(100)中。该储液器(20)包括从沉积室(100)的侧壁(102)...
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