下载基板抽取装置的技术资料

文档序号:19597624

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本实用新型提供一种基板抽取装置,包括用于获取基板的机械手,所述机械手包括用于支撑所述基板的多个机械手指,所述基板抽取装置还包括承载台,所述承载台上形成有用于容纳所述机械手指的容纳空间,所述容纳空间具有空间入口和空间出口,所述空间入口位于所述...
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