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一种硅基石墨烯光电探测器制造技术
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下载一种硅基石墨烯光电探测器的技术资料
文档序号:19596233
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本发明公开了一种硅基石墨烯光电探测器,包括硅波导、氧化物衬底层、氧化物包层和石墨烯,还包括对称放置的第一金属电极和第二金属电极构成的亚波长金属电极,所述亚波长金属电极采用两种不同的金属交叉排列在硅波导上方。本发明通过两种不同的金属与石墨烯接...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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