下载一种新型P-GaN栅结构的增强型器件及其制作方法的技术资料

文档序号:19596196

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本发明提供一种新型P‑GaN栅结构的增强型器件及其制作方法。所述器件包括衬底,还包括在衬底一侧依次设置的成核层、缓冲层、势垒层、P‑GaN层、栅金属层;所述P‑GaN层在所述势垒层上的投影小于所述势垒层靠近所述P‑GaN层一侧的界面,所述P...
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