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显微扫描装置制造方法及图纸
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下载显微扫描装置的技术资料
文档序号:19595650
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一种显微扫描装置包含一光源、一第一镜头组、一第二镜头组、一反射元件、一光路切换元件、一第三镜头组、一感光元件以及一驱动单元,其中光路切换元件选择性接收并输出多个影像光其中之一。亦即,显微扫描装置是利用一光路切换元件,切换来自不同的物镜的待扫...
该专利属于上海中晶科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海中晶科技有限公司授权不得商用。
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