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一种基于金属缝隙波导的光学相控阵芯片发射端制造技术
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文档序号:19591836
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本发明公开一种基于金属等离子缝隙波导阵列的光学相控阵芯片发射端,发射端由介质光波导阵列和金属等离子缝隙波导阵列组成,介质光波导的间距从左至右逐渐减小,整体呈现一个“扇形”结构,金属等离子缝隙波导的间距先减小,而后不变,整体类似一个横置的“漏...
该专利属于上海交通大学;上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学;上海大学授权不得商用。
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