下载一种真空度检测系统及方法的技术资料

文档序号:19590413

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本发明公开了一种真空度检测系统,包括:真空室,用于对真空室抽真空的真空发生器,用于读取真空室内真空度的负压压力表,用于控制真空室放气的第一电磁阀,待检测真空度的真空传感器及控制器;真空发生器、负压压力表、真空传感器及第一电磁阀均与真空室连接...
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