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一种硅基半导体-金属纳米复合材料及其制备方法技术
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文档序号:19589324
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本发明涉及一种硅基半导体‑金属纳米复合材料,自外而内依次包括高温保护层、等离激元吸收层以及有序硅纳米柱阵列陷光层;所述高温保护层为氧化铝;所述等离激元吸收层为金纳米颗粒。本发明根据具有陷光特性的周期性硅纳米阵列结构,将金属溅射在上面可以拓宽...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。
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