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本发明涉及基于方箱的超精密X‑Y气浮平面定位平台，在花岗石支承平台上设置有超精密花岗石基准方箱、X向运动气浮导轨部件和Y向运动气浮导轨部件，超精密花岗石基准方箱为矩形框架结构，其设置在Y向运动气浮导轨部件内可实现基准方箱的Y向运动，在基准方...
该专利属于西安工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安工业大学授权不得商用。

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