专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
信越化学工业株式会社
>
大尺寸合成石英玻璃衬底、评价方法、和制造方法技术
>技术资料下载
下载大尺寸合成石英玻璃衬底、评价方法、和制造方法的技术资料
文档序号:19568144
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种大尺寸合成石英玻璃衬底、评价方法、和制造方法。该大尺寸合成石英玻璃衬底具有至少1,000mm的对角线长度。假设在衬底表面上限定有效范围,并且将有效范围划分为多个评价区域,使得所述评价区域彼此部分重叠,每个评价区域中的平坦度为至...
该专利属于信越化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。