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一种微型共焦显微成像装置制造方法及图纸
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下载一种微型共焦显微成像装置的技术资料
文档序号:19567673
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本发明公开了一种微型共焦显微成像装置,包括激光器、分光镜、精密位移台和光电探测器,激光器与分光镜之间依次设置有第一菲涅尔波带片和四分之一波片;精密位移台设置在分光镜的下方,被测样品设置在精密位移台上,分光镜与精密位移台之间设置有超表面聚焦单...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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