下载LDMOS器件及其制造方法的技术资料

文档序号:19556456

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种LDMOS器件,包括漂移区和体区;栅介质层和多晶硅栅;形成于所述漂移区表面的漂移区场氧,多晶硅栅的第二侧面延伸到漂移区场氧上;源区形成于体区表面,漏区形成于漂移区表面;在漂移区的表面形成有掺杂相反的内插掺杂层,用于辅助耗尽漂...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。