下载一种双极型晶体管结构及其制作方法的技术资料

文档序号:19556413

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本发明公开了一种双极型晶体管结构及其制作方法,通过在双极型晶体管结构中使用导电埋层取代常规的注入埋层,可在集电极串联电阻上的部分区域实现金属互连,因而可大幅降低集电极串联总体串联电阻,从而有效提高了器件性能;同时,通过使用导电埋层取代注入埋...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司;成都微光集电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海集成电路研发中心有限公司;成都微光集电科技有限公司授权不得商用。

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