下载平行曝光光源结构系统的技术资料

文档序号:19515082

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本实用新型涉及平行曝光光源结构系统,其机架部分架设在曝光工位上,机架上设有曝光源的灯源,在灯源下方设置反光碗镜,通过反光碗镜聚集灯源发射的紫外光,在光源的正上方设有第一反射冷光镜,反光碗镜聚集灯源发射的紫外光经过第一反射冷光镜反射出来的光斑...
该专利属于东莞市友辉光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市友辉光电科技有限公司授权不得商用。

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