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电光调制双光梳形貌测量装置及其校验方法制造方法及图纸
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文档序号:19508334
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一种电光调制双光梳形貌测量装置及其校验方法,所述电光调制双光梳形貌测量装置包括:电光调制双光梳生成模块,用于生成中心频率和重复频率不同的光学频率梳;多外差一维测距模块,用于测量被测物在其出射激光方向上的一维距离信息;二维运动模块,用于带动被...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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