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一种硅片清洗机脱水挂篮制造技术
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文档序号:19496316
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一种硅片清洗机脱水挂篮,包括脱水装置、升降吊杆和硅片夹具,脱水装置包括驱动电机、电机保护壳和挡水罩,驱动电机底部输出端安装有输出齿轮,外侧固定安装有电机保护壳,电机保护壳上端连接升降吊杆,电机保护壳外侧套设有挡水罩,挡水罩内壁设有内齿,内齿...
该专利属于扬州宏祥光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过扬州宏祥光电科技有限公司授权不得商用。
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