下载激光抛光装置及抛光方法的技术资料

文档序号:19496288

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本申请实施例提供一种激光抛光装置及抛光方法,涉及抛光技术领域。其中,所述装置通过分束器将激光器发出的初始光束分为第一光束、第二光束和第三光束,然后通过扫描器接收所述第一光束、第二光束和第三光束,并将所述第一光束、第二光束和第三光束投射到待加...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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