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力传感器装置制造方法及图纸
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文档序号:19485571
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本发明降低因将力传感器装置安装于被固定部时产生的应力而引起的传感器芯片的输出的变动。本力传感器装置具有探测多个预定的轴向的位移的传感器芯片和将施加的力传递给上述传感器芯片的应变体,上述应变体具备搭载上述传感器芯片的传感器芯片搭载部和分离地配...
该专利属于三美电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三美电机株式会社授权不得商用。
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