下载晶圆片保护模具的技术资料

文档序号:19474428

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本实用新型提供一种晶圆片保护模具,其用于阻挡晶圆片从晶圆盒的顶部开口中掉出,所述晶圆片保护模具包括:防护部,所述防护部用于覆盖所述晶圆盒的顶部开口;固定部,所述固定部从所述防护部的宽度方向的两侧向下延伸并重合以围成一容纳空间,所述容纳空间用...
该专利属于上海瑞钼特金属新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海瑞钼特金属新材料有限公司授权不得商用。

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