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本实用新型属于蒸镀技术领域，具体涉及一种载台机构和蒸镀设备。该载台机构包括用于调节相对设置的上载台、下载台的平行度的调节装置，调节装置包括检测模块、控制模块和随动模块，其中：检测模块，设置于上载台或下载台上，用于检测上载台与下载台之间的距离...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司授权不得商用。