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本实用新型提供一种抛光游轮，涉及晶片的加工装置技术领域，包括本体，所述本体中央设有安装孔，所述本体的边缘设有传动齿，所述安装孔的外部设有沿圆周方向均匀排布的游轮孔，所述游轮孔为矩形且四角处为圆角，所述圆角包括中心半圆弧和与所述中心半圆弧两端...
该专利属于菲特晶（南京）电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过菲特晶（南京）电子有限公司授权不得商用。

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