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一种回收利用金刚线切割硅料副产硅泥的方法装置和系统制造方法及图纸
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下载一种回收利用金刚线切割硅料副产硅泥的方法装置和系统的技术资料
文档序号:19441983
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本发明提供一种回收利用金刚线硅切割副产硅泥的方法和所用装置与系统,本发明的方法主要是利用金刚线硅切割所产硅泥颗粒表面具有高度氧化层的特性,使其与相邻的内部单质硅硅发生歧化反应生成氧化亚硅以气态脱除,达到可与金属、卤素气体、卤化氢气体或氢气进...
该专利属于储晞所有,仅供学习研究参考,未经过储晞授权不得商用。
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