下载一种高耐压高导通性能P型栅极常关型HEMT器件及其制备方法的技术资料

文档序号:19431607

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本发明涉及半导体的技术领域,更具体地,涉及一种高耐压高导通性能P型栅极常关型HEMT器件及其制备方法。一种高耐压高导通性能P型栅极常关型HEMT器件,其中,由下往上依次包括衬底,应力缓冲层,GaN外延层,AlGaN外延层,两端形成源极和漏极...
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