温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种基于声表面波的原子力显微镜探针、制备方法及表征方法，原子力显微镜探针包括压电基底；信号发生器用于产生激励信号；输入输出换能器设置在压电基底上，输入输出换能器接收激励信号，并将激励信号转换为声表面波信号；反射器设置在压电基底上，...该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;中国科学院大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;中国科学院大学授权不得商用。