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本发明涉及谐振式微加速度计，具体是一种低温漂的谐振式微加速度计等腰直角三角形阵列结构。本发明解决了现有谐振式微加速度计在输入的加速度较小时形成测量盲区、制造成本高、成品率低、功能受限的问题。一种低温漂的谐振式微加速度计等腰直角三角形阵列结构...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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