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本实用新型涉及一种高效环形对溅射磁控镀膜机，包括壳体，壳体内设置有空腔，壳体上设置有磁控阴极，空腔内与空腔同轴设置有隔离筒，空腔由隔离筒分为真空腔及内环腔，壳体外周沿周向等间距排列设置有若干磁控阴极，且相邻磁控阴极的磁极相反，壳体外周的所有...
该专利属于温州驰诚真空机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过温州驰诚真空机械有限公司授权不得商用。

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