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本实用新型是一种基于固支梁的d31的压电式微波功率传感器，传感器包括高阻硅衬底，在高阻硅衬底上设有共面波导传输线和固支梁，共面波导传输线是包括中心信号线和地线，地线设置在中心信号线的两侧，固支梁两端利用桥墩固定在信中心信号线和地线之间，固支...
该专利属于南京邮电大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京邮电大学授权不得商用。

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