下载一种以制冷机为冷源耦合固定点的温度标定系统的技术资料

文档序号:19400533

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本实用新型提供了一种以制冷机为冷源耦合固定点的温度标定系统,其包括:制冷机,其具有至少两个冷头;至少一密闭空间,起到热开关的作用;在所述密闭空间中设置有微波谐振腔,微流量补偿环路为所述微波谐振腔提供稳定的压力环境,在所述微波谐振腔内设置有固...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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