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一种用于制造压电薄膜元件的方法，该压电薄膜元件包括第一电极、第二电极和在其间的一个或更多个压电薄膜，该方法包括通过使用三种溶液的化学溶液沉积形成包括PZT的压电薄膜，其中PZT薄膜的形成包括由三种溶液形成主体PZT薄膜层，其中每种溶液具有不...
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