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公开一种图案光照射装置。图案光照射装置包括光源和图案光栅及光圈，图案光栅包括由透过部和阻断部反复形态的条纹形状，光圈包括开口部的剖面为正弦波的曲线形态。在将来自于图案光照射装置的图案光照射于对象物时进行散焦，从而可以将理想的正弦曲线形态的图...
该专利属于株式会社高永科技所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社高永科技授权不得商用。

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