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本公开的实施例包括用于动态地配置在质量流量控制器(MFC)上存储的数据值的系统和方法。在一个实施例中，MFC包括用于接收流体的入口、流动路径、用于提供与通过流动路径的流体的质量流量对应的信号的质量流量传感器，以及用于调节流出MFC的出口的流...
该专利属于伊利诺斯工具制品有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过伊利诺斯工具制品有限公司授权不得商用。

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