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使用光子射流进行白光干涉的表面和表面下层结构的性质制造技术
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下载使用光子射流进行白光干涉的表面和表面下层结构的性质的技术资料
文档序号:19395718
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本发明的目的是一种用于确定物体的界面(100)的四维性质的设备,所述设备包括光源(102)。所述设备包括:用于在形成界面(100)的成像中要利用的光子射流的装置(104),用于执行界面(100)以及它们(104、106)的组合的大视场干涉成...
该专利属于赫尔辛基大学所有,仅供学习研究参考,未经过赫尔辛基大学授权不得商用。
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