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本发明提供一种对溅射靶进行加工的方法，所述方法中，使具有在沿轴的截面中包含圆弧状的凹曲面的刃部的切削工具围绕轴进行旋转，利用刃部的凹曲面，对溅射靶的溅射面与侧面形成的角部进行倒角，以使其接近圆弧状的目标R面，其中，以在沿轴的截面中使刃部的凹...
该专利属于住友化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友化学株式会社授权不得商用。

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