下载用于惰性气体壳体的气体清洁装置的技术资料

文档序号:19392599

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本发明涉及用于惰性气体壳体的气体清洁装置,该气体清洁装置具有基础模块(10)和至少一个扩展模块(60),其中,在基础模块(10)中且在扩展模块(60)中分别布置至少一个反应器(15.1、15.2)以便清洁来自惰性气体壳体的气体流,且其中,基...
该专利属于布劳恩惰性气体系统有限公司;布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过布劳恩惰性气体系统有限公司;布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司授权不得商用。

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