下载金属线栅偏光片的制作方法的技术资料

文档序号:19388215

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本发明提供一种金属线栅偏光片的制作方法,包括:提供一玻璃基板;在玻璃基板上沉积第一非金属薄膜;在第一非金属薄膜上沉积光阻材料层;对光阻材料层进行纳米压印得到光阻图案层,光阻图案层包括第一图案部分以及设于第一图案部分之间的第二图案部分;去除第...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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