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本发明公开了一种两自由度探针进给机构，包括基体、沿Y轴中心线对称布置的两个柔性桥式放大机构、半圆形连接铰链、双平行板导向机构，Z型柔性机构组成，其中两个所述柔性桥式放大机构沿Y向布置，并分别由一个压电陶瓷驱动器驱动，产生X方向输出位移，并经...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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