下载吸附式治具的弹性体的技术资料

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一种吸附式治具的弹性体,适用于承载硅晶,包含本体部,及多个吸附单元。所述本体部包括呈矩阵排列的多个气孔。所述吸附单元形成在所述本体部且彼此相间隔,每一吸附单元包括环绕所述气孔的环壁。所述环壁具有外环面、反向于所述外环面且界定出吸口的第一内环...
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