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本发明公开一种干式真空泵的清洁装置，包括与干式真空泵的进气口连接的主管道、与主管道连接的分管道以及清洁气体供给装置；主管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时所抽气体进入泵内的第一开关阀；所述分管道与清洁气体供给装置连接，且分管道上设有用于控...
该专利属于深圳市石金科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市石金科技股份有限公司授权不得商用。

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