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本发明一实施方式提供了一种四甲基硅烷的制备装置，包括反应器、过滤器、液液分离器以及精馏塔；其中，所述过滤器与所述反应器相连，所述液液分离器与所述过滤器相连，所述精馏塔与所述分离器相连。通过本发明一实施方式的装置，以直接法合成有机硅单体过程中...该专利属于洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。