下载硅片切割废液的处理方法及处理系统的技术资料

文档序号:19383045

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本发明涉及一种硅片切割废液的处理方法及处理系统。其中,处理系统包括依次设置有:废液收集池,用于收集硅片切割过程中产生的废液;与所述废液收集池一端连通的加酸装置,用于调节所述废液收集池的pH值;与所述废液收集池另一端连通的板框压滤装置,用于对...
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